沉積三氧化鎢薄膜SEM檢測
【中鎢在線新聞網-鎢新聞】
無PS球模板沉積的W03薄膜的SEM照片可以看出所沉積的薄膜比較平整致密,薄膜顆粒均勻,厚度約500nm.XRD結果顯示薄膜除了ITO玻璃本身具有的峰之外,只有在2B = 26“位置出現一個寬化峰,表面三氧化鎢薄膜為非晶態。這與文獻報道的相一致。
在有PS球模板的ITO玻璃表面,沉積時間為300s和600s三氧化鎢薄膜的SEM照片如圖3.14所示。對于沉積時間為300s的樣品,可以看到具有很整齊的碗狀陣列大孔結構,這些孔以密排六方的方式排列,與文獻報道相一致。碗狀大孔的直徑約為600 nm,與PS球的直徑一致。將薄膜從ITO玻璃上刮下后的粉末在乙醇中超聲處理,滴在銅網上,用TEM進一步表征其微觀結構,如圖3.15所示。選區電子衍射和高分辨TEM ( HRTEM)照片證實了薄膜大部分是非晶形態,但是在HRTEM照片中可以看到一些幾個納米尺度的小晶體的存在,這說明所沉積的三氧化鎢薄膜是一種納米晶鑲嵌在非晶相基體中的復相結構。這種微弱的結晶傾向在其他一些新鮮制備的三氧化鎢薄膜中也有所發現。
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