電沉積法制備三氧化鎢薄膜
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電沉積法在制備三氧化鎢薄膜時的基本過程是:首先用H2O2以一定比例溶解W粉,然后祛除過量的H2O2,得到電解質溶液并讓其自然沉積,再以Pt作為工作電極,以另一種物質為對電極,通入電流電解沉積,Pt電極上即可得三氧化鎢薄膜。
Habazaki用此方法在Ti基體表面制備了三氧化鎢薄膜。基本過程為:先向10mL30%的H2O2中加入2g鎢粉,待放熱反應結束后,再加入100mL蒸餾水和30m L丙醇,得到制備三氧化鎢薄膜所需電解質溶液。用飽和甘汞電極為對電極,在室溫下以450mV電壓電解 1小時,產物用蒸餾水和乙醇反復清洗,并經過適當的熱處理后,即可在基片上得到三氧化鎢薄膜。賈小東等用脈沖電沉積法,以H2O2和W 粉為原料,用鉑(Pt)為陽極,以沉積有Sn O2透明導電薄膜的玻璃片(基片)為陰極,采用方波脈沖電源,通斷比為 1:1(ton=toff=4ms),電流密度為 0.5mAcm-2,電沉積為 60 min,樣品在l00~420℃下進行熱處理,得到晶態和非晶態三氧化鎢電致變色薄膜。
電沉積法相對與其它方法,其設備較簡單,可控性強,鍍膜比較均勻而且也可以進行制備復合薄膜。但受到鍍膜面積的影響,所制得三氧化鎢薄膜面積較小。
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