濺射法制備三氧化鎢薄膜

【中鎢在線新聞網(wǎng)-鎢新聞】

濺射法的基本原理是利用直流或高頻電場使惰性氣體發(fā)生電離，高能惰性氣體離子撞擊固體表面(靶材)，與靶材表面的原子或分子進(jìn)行能量交換，使靶材表面的原子或分子獲得能量并濺射出來，在襯底上沉積形成薄膜。濺射法中使用最廣泛的是磁控濺射法。用金屬W為靶材，使用Ar和O2的混合氣體，使用磁控濺射法制備出了對NOx有較好氣敏性的三氧化鎢薄膜。Gavanier·B等利用直流磁控濺射裝置，靶材為99.95％的W，在真空度為2×10－6mbar的反應(yīng)室內(nèi)，Ar(50％)一O2(50％)混合氣氛下，對混合氣體進(jìn)行直流射頻激發(fā)放電，使三氧化鎢薄沉積在基片上，制得三氧化鎢薄膜。

鎢制品生產(chǎn)商、供應(yīng)商：中鎢在線科技有限公司

詳情查閱：www.tungsten-oxide.com

訂購電話：0592-5129696短信咨詢：15880262591

電子郵件：sales@chinatungsten.com

鎢圖片網(wǎng)站：http://image.chinatungsten.com

鎢視頻網(wǎng)站：http://v.chinatungsten.com

鎢新聞、價格手機(jī)網(wǎng)站，3G版：http://3g.chinatungsten.com

關(guān)注微信公眾號“中鎢在線”，了解每日鎢鉬最新價格