三氧化鎢薄膜在氣敏傳感器的應用

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氣敏傳感器是一種用于檢測特定氣體的傳感器，其在生物、化學、航空航天、軍事等領域得到了較為廣泛的應用。氣敏傳感器可以將被檢測氣體的種類，濃度以及與濃度有關的信息轉變為電信號，然后根據這些電信號的特征和強弱來判斷可檢測氣體在被檢測環境中存在的有關情況，從而到達檢測，監控和報警的目的。同時，還可以將檢測到的電信號電路接口與計算機相連接，組成自動的檢測、監控和報警系統。wo3是一種常見的氣敏材料，對易揮發有機氣體(包括乙醇、甲醇、甲烷、甲醛、丙酮等)、氮化物、碳化物、硫化氫、臭氧、氨氣和氫氣等有很高的靈敏度，使其在氣敏檢測方面得到了研究者的深度關注，被認為是最有前景的新型過渡金屬氧化物半導體氣敏材料之一。WO3的薄膜主要應用有瓦斯氣體檢測報警器，呼吸中乙醇的檢測，室內煤氣檢測，氟利昂(R11,R12)的檢測等。隨著環境監測和工業的需要，WO3作為主要的氣敏傳感器監測材料有著非比尋常的優點。
WO3基材料作為氣敏材料的應用是美國人Shaver在1967年開始的，他們通過真空蒸發鎢薄膜，再經過600-700℃的高溫加熱得到了三氧化鎢薄膜，然后再噴涂少量的Pt來提高WO3的氣敏性能。M.Stankova等人采用濺射法沉積W03并摻雜了七種不同的物質，測試了對H2S,N02,NH3,CO,CH4氣體在不同溫度，不同濃度下的氣敏性能，實驗結果表明摻雜能提高WO3對某些有害氣體的氣敏性育旨。

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