燒結(jié)后氧化鎢靶材的純度

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陶瓷氧化鎢靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大，陶瓷靶材的純度越高，濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品質(zhì)量的一致性越好。高純度要求靶材的成分純度高，雜質(zhì)含量低。為了達到高純的要求，選用純度較高的氧化鎢粉體作為原料，在球磨時采用鎢柱作為磨球，以防止球磨中因磨球的磨耗而在靶材中引入雜質(zhì)。經(jīng)過球磨后粉體的X射線熒光光譜測試。

對粉末進行的XRF分析可以看出，粉體中雜質(zhì)的類型及含量和原始粉末的標稱含量基本一致，其純度在99.9% 以上，球磨處理并沒給粉體引入明顯的雜質(zhì)，其中少量的Fe和Ca雜質(zhì)應該是原始粉體自帶，在球磨過程中并沒接觸含有Fe和Ca的物品。因此就原料和原料的處理環(huán)節(jié)，為制備高純度的氧化鎢靶材奠定了基礎。

靶材的高純度還要求靶材中的物相純度高，對氧化鎢靶材而言，最好是單一物相。為了達到高純的要求，我們在不同的溫度下燒結(jié)后制備的三氧化鎢靶材。實驗中經(jīng)過不同燒結(jié)溫度所制備的三氧化鎢靶材的XRD圖譜。由圖中可以看出，本實驗中過不同燒結(jié)溫度所制備的三氧化鎢靶材，都是高純度、單斜晶相的三氧化鎢。樣品中沒有發(fā)現(xiàn)其他雜質(zhì)的特征峰，也沒有發(fā)現(xiàn)明顯的非單斜晶相的氧化鎢特征峰。所不同的是，在1200℃時，單斜晶相三氧化鎢的各個特征峰的相對強度最高，表明在較高溫度時，靶材中晶粒發(fā)育完好，晶粒的結(jié)晶度更高，有利于獲得更為致密的高純靶材。結(jié)合XRF 的測試結(jié)果，表明我們制備的氧化鎢靶材是高純度的單斜晶相的氧化鎢靶材。

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