三氧化鎢薄膜發(fā)展史
【中鎢在線新聞網(wǎng)-鎢新聞】
1969年Deb發(fā)現(xiàn)三氧化鎢薄膜在室溫下具有電致變色效應(yīng)以來(lái),三氧化鎢薄膜的光電性能研究受到了人們的廣泛關(guān)注,并相繼發(fā)現(xiàn)了其光致變色、氣致變色、光催化以及非線性電學(xué)等性質(zhì) 。可見氧化鎢薄膜是一類功能十分豐富的薄膜材料,對(duì)其展開研究具有重要意義。在氧化鎢薄膜的眾多制備方法中,濺射法是一種制備高純度、高致密度薄膜的較成熟工藝,已經(jīng)在工業(yè)生產(chǎn)中得到廣泛應(yīng)用。在采用濺射工藝備三氧化鎢薄膜時(shí),需要消耗大量的三氧化鎢靶材。然而,當(dāng)前國(guó)內(nèi)外對(duì)三氧化鎢靶材制備的報(bào)道還比較少。國(guó)內(nèi)某些實(shí)驗(yàn)室制備的三氧化鎢靶材,存在生產(chǎn)成本高,致密度低、成分不純的缺點(diǎn),離工業(yè)應(yīng)用還有明顯的差距。目前國(guó)內(nèi)應(yīng)用的三氧化鎢靶材大多數(shù)為日本進(jìn)口,成本很高。
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