新しい建築用省エネガラスに用いられる紫色の酸化タングステン（W18O49）は、スパッタリング法で製造できます。一部の専門家は、直徑15～20nm、平均長さ50～250nmのW18O49ナノロッドをスパッタリング法で製造しています。では、紫色の酸化タングステンナノパウダーは、スパッタリング法でどのように製造されるのでしょうか？
詳細については、以下のサイトをご覧ください。
http://www.violet-tungsten-oxide.com/japanese/index.html
W18O49ナノロッドは、石英リアクターガラス基板上に成長します。実験は、タングステン薄膜サンプルを大気圧窒素雰囲気下で700℃まで加熱した後、エチレンを反応器に導入し、20分間反応させた後、オンラインクロマトグラフモニターを用いて生成ガスの組成を分析?検出するという手順で行われた。最後に、サンプルを窒素雰囲気下で室溫まで冷卻した。ナノロッドは薄膜上に均一かつ垂直に、高い収率で成長した。さらに研究を進めた結果、薄膜の両面に同時にナノロッドが成長できることも明らかになった。
