低溫等離子體是指在相對較低溫度（通常為室溫至幾百攝氏度）下產生的等離子體，因其在材料科學、生物醫學、環境科學及航天技術等領域的獨特優勢而備受關注。
鋇鎢電極通常由鎢（W）基體與鋇（Ba）化合物組成，鎢的高熔點與穩定性，疊加鋇的低逸出功特性，賦予鋇鎢電極優異的電子發射性能和高耐久性，成為低溫等離子體應用中的關鍵組件。
鋇鎢電極在低溫等離子體中的具體應用
1. 電子發射源
鋇鎢電極在低溫等離子體中常被用作電子發射源。由于其低逸出功，它能在較低電壓下高效發射電子，從而產生并維持穩定的等離子體。一般應用在（1）等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）：用于制備薄膜材料，如半導體器件中的絕緣層或保護層；（2）等離子體刻蝕：通過等離子體中的活性粒子對材料表面進行精確刻蝕，廣泛應用于微電子加工。
2. 等離子體診斷
鋇鎢電極還可用于等離子體參數的測量與診斷。通過分析電極的電流-電壓特性，可以推算出等離子體的密度和溫度等關鍵參數。其高穩定性和耐久性使其特別適合長時間運行的實驗或工業系統。
3. 氣體放電燈
在氣體放電燈（如熒光燈或高壓氣體放電燈）中，鋇鎢電極常用作陰極。其低逸出功和高穩定性能夠提供穩定的電子流，改善燈的啟動性能并延長使用壽命。
4. 等離子體推進器
在航天領域，低溫等離子體技術被應用于推進器系統中。鋇鎢電極作為電子源，幫助產生和維持等離子體，推動離子或等離子體噴射，從而實現高效推進。這種應用在微型衛星和深空探測中具有潛在價值。
