三氧化鎢摻雜薄膜溶膠凝膠法摻鈀進(jìn)行正交試驗(yàn)

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通過對(duì)三氧化鎢摻雜薄膜溶膠凝膠法摻鈀進(jìn)行正交試驗(yàn)，得到的結(jié)果如圖。正交試驗(yàn)結(jié)果表明摻雜0.386g和0.1206g氯化鈀的三氧化鎢薄膜在非晶態(tài)時(shí)的薄膜表面形態(tài)較好，均勻，且透光率較高（在 80％左右），對(duì)氫氣的響應(yīng)透光率變化相當(dāng)（最大在20％左右），只是響應(yīng)時(shí)間有差別，摻入量多使薄膜對(duì)氫的響應(yīng)相對(duì)量少的較快。滴數(shù)越多，膜層越厚，受退火溫度的影響，20d的薄膜在460℃時(shí)容易龜裂，而薄膜越薄，其氫敏效應(yīng)相對(duì)較差，由正交表可知大約在 16d 時(shí)的薄膜對(duì)氫的響應(yīng)時(shí)間及著色程度較好。由正交表還可以看出摻鈀的薄膜在350℃還是非晶態(tài)，而由已有的研究得知純?nèi)�氧化鎢薄膜的晶化溫度在350℃左右，試驗(yàn)表明摻鈀以后薄膜晶化溫度提高，在460℃時(shí)薄膜已經(jīng)表現(xiàn)出晶態(tài)，但此時(shí)也沒有完全的晶化，由此推知摻鈀薄膜開始晶化的溫度在350～460℃之間，大約在420℃，比純?nèi)�氧化鎢薄膜提高了近70℃。綜合幾個(gè)因素來(lái)看，0.386g或0.1206g氯化鈀、16d溶膠涂膜、250℃退火處理得到的薄膜較好。但是在對(duì)低濃度氫進(jìn)行的氫敏試驗(yàn)當(dāng)時(shí)，摻雜氯化鈀的三氧化鎢薄膜的著腿色不明顯，變化僅在 10％以內(nèi)，這就不適用于測(cè)試低濃度的氣體。 

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