國產MOCVD期待投入使用“零的突破”
工業和信息化部發布的《高端裝備制造業“十二五”發展規劃》提出，到2015年，高端裝備制造業銷售收入超過6萬億元，在裝備制造業中的占比提高到15%;到2020年，高端裝備制造產業銷售收入在裝備制造業中的占比提高到25%。科技部發布的《半導體照明產業“十二五”規劃》中也提出，到2015年，大型MOCVD裝備、關鍵原材料將實現國產化。
MOCVD全名叫有機金屬化學氣相沉積設備，是LED外延芯片制造的關鍵核心設備。這一設備長期以來被歐美兩大公司(德國AIXTRON和美國VEECO)壟斷。MOCVD設備是中國半導體照明產業發展的瓶頸，也是業界“心中的痛”。LED產業主要依賴于MOCVD設備，它與半導體產業極其相似，都是設備領先，國內把攻克MOCVD設備當成LED產業“十二五”規劃中的重中之重。
有資料顯示，截至2011年年底，國內有近20家企業在研發MOCVD設備，并且部分企業已經有了一定進展。今年4月南昌黃綠照明公司依托南昌大學、國家硅基LED工程技術研究中心，經過多年的努力，成功推出自主知識產權的生產型GaN基MOCVD設備。這可以說是真正意義上的中國自主研發制造的可以應用于大生產線的生產型設備。國產設備有優勢，但在推廣中也存在不少問題。如何使國產高端裝備實現在線使用“零的突破”，需要研制者(設備供應商)、用戶(外延芯片制造企業)、政府相關主管部門的大力支持與通力合作。
國產設備具有成本優勢毋庸置疑，但國產設備更應該做到的是通過過硬的質量、優良的技術、卓越的技術支持和客戶服務，以及全套的工藝解決方案贏得用戶、贏得市場。從目前有關MOCVD設備公司公布的情況看，國產設備無論是技術上還是價格上，優勢已經顯現，目前面臨的最大問題是設備的推廣。
首先，市場環境差，國產MOCVD設備“生不逢時”。前兩年LED產業投資過熱，企業進行大規模投資，目前包括三安、德豪潤達在內的大公司，其設備開工利用率不足30%。消化目前的產能需要2～3年的時間，因此，未來3年，國產新設備的推廣前景不容樂觀。其次，設備關鍵零配件采購成本高。由于我國基礎工業落后，部分關鍵零配件及大量機加工精密零配件需要進口，大大增加了國產設備的擁有成本。最后，國人的自輕心理，不相信國產設備的品質，也阻礙了國產設備的推廣。
因此，加快推廣國產設備，為國產設備的在線應用營造良好的政策環境、生態環境成為當務之急。針對目前市場環境，可以選擇有技術實力的LED芯片企業進行財政補貼，鼓勵其使用、試用國產設備。在關稅方面，對需要進口的關鍵零配件及材料減免進口關稅，降低國產設備的制造和擁有成本，切實做到支持國產高端裝備的發展。此外，還要克服盲目崇洋心理，MOCVD等高端設備水平的提升，依賴于芯片企業對國產設備的信任。好在現在越來越多的企業已經意識到，依靠購買成熟工藝設備永遠比別人落后一到兩代，只有自己站上“金字塔”頂，才能成為超越者和引領者。
一代設備一代工藝一代產品，國外公司用設備一代一代地牽著我們高科技產業的鼻子走，這是歐美等發達國家慣用的策略和伎倆。LED照明產業現在還是新興產業，預計這一產業在未來5～8年將成為成熟產業，現在發展高端裝備為時不晚。官產學研用通力合作，國產MOCVD設備一定能夠實現在線使用“零的突破”，也一定能夠消除中國LED照明產業“心中的痛”。工欲善其事，必先利其器，只有掌握了關鍵制造工藝和設備，才能讓LED照明產業鏈根植于中國。
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